产品描述
参数
1.产品描述
一款高端量产设备，采用高端空间光调制器件数据处理系统，可实现高解析度、高产能、智能管控的量产需要。设备主要应用于平板显示、先进封装等微纳加工领域。
2.产品特点
• 网格精度：200nm
• 最小线宽：700nm
• 基本尺寸：12inch（可拓展）
• 曝边：选配
• 智能化：自动打码、读码、对接MES系统
• 支持格式：GDSII/ODB++/Gerber
3.技术规格
| 设备型号 | LDW-D1 | |
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支持基板尺寸[inch]
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300x300
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最小线宽[nm]
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700
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套刻精度[3σ,nm]
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400
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| 产能[ mm² /min] | 3000 | |
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代码：688630
