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    产品领域

    LDW 350/500 直写光刻机


    该设备基于先进的DMD数字光刻技术,采用高精度的精密运动系统、光学系统、微环境控制系统,同时具备实时聚焦、自动居中对位等功能。

    LDW.png

    产品特点

    01

    最小线宽线距:

    350nm

    图片名称

    01

    套刻精度:

    ±150nm

    图片名称

    *以上数据来源于CFMEE实验室测试结果,具体情况可能因实际使用环境而有所不同。本公司保留对相关数据和内容进行调整的权利,恕不另行通知。

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